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Local Scrubber尾气处理设备

  • 删去效果: CF4>90%@1 50slm、NF3>95%@300slm
  • 机器设备才质: 内腔PTEE、水箱CPVC
  • 的设备尺寸: 800*800*1 850
  • 机器用电量: 1 2kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
  • 系统供水量: <4slm
咨询公司电话:400-9655-098
等正离子干洗Local Scrubber环保设备:祛除半导体技术Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆艺生产工艺中在使用或导致的PFC温室混合的气体和毒害损害混合的气体,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

原理

在交流电供电,使工做汽体(惰性气体)进入到等化合物体化学生物反应器,在正负极极富电流大小的影响下,被电离成等化合物体,一刹那形成硕大的燃烧的火花,形成的常温燃烧的火花将废水吸附。

优势

  1. 去除效率高,不需要燃料和热源,耗能低;
  2. 处理高沸点废气,应用范围广;
  3. 高温、反应速度快,
  4. 设备占地面积小、便于安装;
本安装的整流电弧焊接等阴阳阴离子体为非转换型,两电极片部分不参与的反响,只所有等阴阳阴离子体,所有的烈火高温可以达到3000度不低于。 等正离子不良生物反應器的MTBF不低于1 年时间内,不良反應窒内腔的材料耐热性和耐腐,兼备十个进气口,装备应有闭式冷却塔区、喷淋系统区及二级生物填料除雾区,对PFC温室气物的出掉高效率>90%。

尾气处理设备尾气处理设备

性能参数

去除效率 CF4>90%@1 50slm、NF3>95%@300slm
MTBF >6months;
MTTR <1 .5hr
材质 内腔PTEE、水箱CPVC
等离子弧使用寿命 >1 year
尺寸(mm) 800*800*1 850
进气口 NW50*4
耗能 1 2kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
水量 <4slm